Οι μηχανικές αντλίες ενίσχυσης EH Mechanical booster pumps της Edwards αποτελούν την ιδανική επιλογή για εφαρμογές, όπου απαιτούνται υψηλές ταχύτητες άντλησης σε ένα εύρος πίεσης από 0,01-50 mbar. Οι αντλίες αυτές πρέπει να υποστηρίζονται από μια άλλη αντλία, η οποία να μπορεί να προσφέρει ένα υψηλό διαφορικό πίεσης ως προς την ατμοσφαιρική πίεση.

Με λειτουργία σε σχετικά χαμηλές πιέσεις, οι μηχανικές αντλίες ενίσχυσης δεν είναι εκτεθειμένες στις ίδιες συγκεντρώσεις με τα διαβρωτικά μέσα διεργασίας, όπως η αντλία υποστήριξης, καθιστώντας την εξαιρετικά αξιόπιστη.

Εφαρμογές

Διεργασίες ημιαγωγών

Αποστάξεις κενού

Συσκευασίες κενού

Εξαέρωση χάλυβα

Επιστρώσεις λεπτών υμενίων